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等離子體刻蝕\清洗機由真空腔體及等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等離子電源作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質(zhì)第四態(tài)）。等離子電源提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
設(shè)備參數(shù)：
★罐體尺寸：Φ190×200深,高純石英腔體；
★等離子體激發(fā)方式：ICP、CCP模式可選；
★極限真空度： 9*10-1Pa(配套雙級旋片真空泵，可選渦旋干泵)；
★電源，功率0～150 W，數(shù)顯（13.56MHz射頻、40KHz中頻可選）；
★充氣系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器一臺及排空閥一套；
★真空系統(tǒng) 配真空泵一臺，抽氣速度≥2 升/秒 ，極限真空9*10-1Pa，工作電壓220伏。真空專用電磁角閥、充氣閥、不銹鋼真空波紋管、高精度數(shù)字式真空計、規(guī)管。
★控制系統(tǒng)：采用觸摸屏全自動控制
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