密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />

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產(chǎn)品中心
PD-ALD200D雙腔室熱型原子層沉積設備
產(chǎn)品摘要
雙腔室熱型原子層沉積設備可沉積HfO2、ZrO2、Al2O3、SnO、MgO、FeO、TiO2等及其三元復合薄膜如HZO、AZO;等??蛇m用多片堆疊工藝,內(nèi)腔可整體拆卸方便清理保養(yǎng)。
產(chǎn)品介紹

設備特點:

★反應內(nèi)腔和外腔配置獨立高性能MKS真空計,可實時觀察ALD工藝過程中壓強變化和內(nèi)外壓強差

★自動控制軟件,操作簡單;具有CDA報警以及防溫度失控硬件保護功能,保障ALD工藝安全性

設備參數(shù):

樣品臺:8英寸樣品臺雙腔室反應腔,兼容210×210 mm方形樣品,樣品臺空間高度100mm,可適用多片堆疊工藝

加熱均勻性:真空內(nèi)輻射加熱,樣品溫度可加熱到400℃,反應區(qū)域空間溫度在200℃時均勻性≤±2℃,溫度控制精度±0.5℃

前驅體源:配置6路前驅體源:其中4路加熱金屬源、1路水前驅體源和1路臭氧前驅體源

★沉積非均勻性:8英寸內(nèi)沉積50nm氧化鋁非均勻性≤±1%


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