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1.如遇緊急停電，水流，水壓報(bào)警等故障，分子泵還在運(yùn)轉(zhuǎn)，此時(shí)設(shè)備恢復(fù)后腔室不可操作放氣操作，需靜止1小時(shí)以上，才可執(zhí)行放氣操作否則可能會損壞分子泵。

2.設(shè)備運(yùn)行時(shí)應(yīng)注意蜂鳴器有無報(bào)警及報(bào)警信息區(qū)應(yīng)無報(bào)警信息，如報(bào)警發(fā)生時(shí)應(yīng)停止設(shè)備運(yùn)行，排除故障后才使用設(shè)備。

3.設(shè)備運(yùn)行環(huán)境：溫度小于35℃，濕度小于百分之80，空氣無粉塵，設(shè)備在潔凈環(huán)境中使用。

4.分子泵屬于精密部件長時(shí)間工作時(shí)，一定要保證冷卻降溫，分子泵不能直接抽大氣，應(yīng)避免違規(guī)操作造成分子泵在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)暴露大氣損壞；分子泵、機(jī)械泵的使用和維護(hù)應(yīng)嚴(yán)格按照相應(yīng)說明書上的規(guī)定進(jìn)行。

5.真空腔室暴露大氣應(yīng)盡可能的短，設(shè)備不使用時(shí)應(yīng)抽上真空保壓，保證腔室環(huán)境不被污染，以免影響后續(xù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

6.加熱樣品可隨腔室內(nèi)冷卻，真空腔室內(nèi)溫度＜60℃以下時(shí)再暴露大氣為宜，溫度太高操作可能會發(fā)生燙傷！

7.真空腔室內(nèi)要保持清潔，定期清除腔室的殘留物，保證腔室內(nèi)無油污，無水，無粉塵，可貼鋁（錫）紙定期更換。